CCZK-SFL連續磁控鍍膜生產線
特征描述:
馳誠公司CCZK-SFL系列磁控濺射鍍膜流水線可適用于幕墻玻璃,鋁鏡,反光鏡生產,配備旋轉陰極,平面陰極磁控濺射靶。可以在大平板玻璃上鍍制一至多層特殊的金屬或金屬氧化物,金屬氮化物薄膜,金屬單質膜,復合膜,Low- E輻射膜也可在小彎的弧形玻璃上鍍膜。鍍膜線產量高,每年可鍍膜200萬平方米以上,多室傳動,充分保證膜層的均勻性,物理性。
技術配置
CCZK-SFL連續磁控鍍膜生產線
腔體結構:采用高效的臥式連續磁控鍍膜流水線,配備前后粗抽室,前后過渡室,前后精抽室,前后緩沖室,彩鍍室。
靶材設計:采用新型旋轉陰極靶材以及平面陰極靶材。
電源配置:配備大功率中頻磁控濺射電源
傳動系統:滾軸傳動,變頻可調,感應式室門開啟系統。
真空系統:擴散泵(分子泵)+羅茨泵+機械泵+深冷泵
可鍍膜玻璃或平板,尺寸可定制
生產線安采用插板閥進行腔室隔斷,可以實現有效隔斷,穩定工藝氣體。
生產線采用了均勻進氣管結構設計,氣流注入均勻平緩;
電氣控制:生產線采用PLC全過程控制,快速的生產節拍,配備工業計算機顯示系統。
人機對話:控制系統能實現人、機對話,及時對生產過程進行必要干預。運行過程有報警提示和故障顯示,故障顯示能提示操作人員正確的操作和排故。
其他技術參數:
極限真空: 3.0×10-2Pa
水壓流速≥0.2Mpa 3m3/h;水溫≤25℃;氣壓:0.4-0.8Mpa;
一般規格:W1200mm*L2000mm(單室) W1500mm*L2400mm(單室)
真空室尺寸或設備配置可按客戶產品及特殊工藝要求訂做
應用
馳誠CCZK-SFL系列連續鍍膜流水線主要應用于大平板玻璃,幕墻玻璃,低輻射玻璃(LOW-E玻璃)等大面產品的連續式鍍膜,可鍍制金屬單層膜,合金膜或金屬化合物膜。可進行大面積鋁鏡片鍍膜,反光鏡鍍膜以及大面積濺射鍍膜需求。
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樣品圖