真空鍍膜設(shè)備 真空鍍膜機(jī)冷凝泵的工作原理
真空鍍膜設(shè)備 真空鍍膜機(jī)主要是低溫表面對(duì)氣體的冷凝作用、冷捕作用及物理低溫吸附作用。
低溫冷凝：根據(jù)各種氣體的特性，采用液氦或者制冷循環(huán)氦氣來冷卻。
冷捕集：就是不可凝氣體被可凝氣體捕集的現(xiàn)象，通常二氧化碳、水蒸氣、氮?dú)狻簹獾葰怏w首先形成霜，于低溫表面形成吸附層，進(jìn)而達(dá)到吸附其它氣體的目的，低溫泵抽除混合氣體的效果比抽除單一效果好就是這個(gè)原因。
低溫吸附：指低溫表面上的吸附劑吸附氣體的作用，由于吸附劑與氣體分子之間的相互作用很強(qiáng)，故可達(dá)到氣相壓強(qiáng)比冷凝表面溫度下它的飽和蒸汽壓還低的水平。吸附劑通常是活性炭。
冷凝泵的抽氣速率及影響 冷凝泵的抽氣速率與冷凝表面的面積大小有關(guān)系，經(jīng)數(shù)據(jù)顯示，單位冷凝表面積下的抽氣速率為11.6升/秒.平方厘米，冷凝泵可以抽到10-8帕；此外粘有活性炭的吸附表面的幾何形狀及位置、活性炭的顆粒結(jié)構(gòu)、粘結(jié)材料及粘接工藝，對(duì)抽速也有很大的影響。其次關(guān)鍵在于制冷機(jī)的制冷量要足夠大。
真空計(jì)：真空計(jì)是真空鍍膜機(jī)器上的重要組成部分，它是檢測(cè)鍍膜機(jī)真空度的重要手段。真空計(jì)根據(jù)其工作原理可以分為絕對(duì)真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)，絕對(duì)真空計(jì)可以直接測(cè)量壓強(qiáng)的高低，相對(duì)真空計(jì)只能間接測(cè)量真空度。
本文重點(diǎn)介紹鍍膜機(jī)器上面常用到的以下幾個(gè)真空計(jì)：
電阻真空計(jì)（又叫皮喇尼真空計(jì)）：
它主要由電熱絲、外殼和支架構(gòu)成，主要是根據(jù)在低壓下，氣體的熱傳導(dǎo)系數(shù)與壓強(qiáng)成正比的方式工作的。上面開口處與被測(cè)真空系統(tǒng)相連接，熱絲采用電阻溫度系數(shù)大的金屬絲做成，兩支支架引線與測(cè)量線路連接。當(dāng)壓強(qiáng)降低的時(shí)候，由于氣體熱傳導(dǎo)散失的熱量減小，因此當(dāng)熱絲加熱電流穩(wěn)定時(shí)候，則熱絲溫度就上升，熱絲的電阻就增大，用測(cè)量熱絲電阻值的大小來間接測(cè)量壓強(qiáng)，有以下關(guān)系：
略 這就是電阻真空計(jì)的工作原理，此真空計(jì)的測(cè)量范圍是：100-10-1帕之間，目前采用的型號(hào)是WP-02
磁控放電真空計(jì)：
工作原理：在放電開始時(shí)，由于空間游離電子向陽極運(yùn)動(dòng)時(shí)，在正交電磁場(chǎng)作用下，電子的軌跡不是直線而是螺旋線前進(jìn)，又因?yàn)殛枠O是框形，故電子不一定第一次就碰上陽極，而是穿過陽極，然后受到對(duì)面陰極的拒斥，又復(fù)返回。這樣反復(fù)多次才可能打上陽極。由于電子路程大大加長，故碰撞及電離的分子數(shù)增加，使得在較低壓強(qiáng)（10-4帕以下）仍維持放電（也稱潘寧放電）。
目前比較多的型號(hào)有PKR251、GI-PARY
放電管真空計(jì)：在玻璃管中封入兩個(gè)金屬電極，在其上加上數(shù)千伏的直流高電壓，在一定的壓強(qiáng)范圍內(nèi)（1*10-3～2*10托）內(nèi)就能引起自持放電，通過放電顏色來判定其真空度
目前為止此種真空計(jì)已經(jīng)很少使用，因?yàn)槠湔`差大，容易損壞，而且壽命不長。
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