在現有的真空鍍膜機中,安裝在鍍膜腔體中的加熱裝置多種多樣,現有的用于真空鍍膜的加熱裝置大多有加熱效率不高,無法減輕操作負擔、以及提高作業效率,受熱不均等問題。
提供一種真空鍍膜系統,本系統由真空鍍膜系統和真空手套箱系統集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。
真空鍍膜系統優點:蒸發鍍膜與手套箱組合,實現蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作,使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個完整的可控環境氛圍的系統中,消除有機大面積電路制備過程中大氣環境中不穩定因素影響,保障了高性能、大面積有機光電器件和電路的制備。