真空鍍膜機多片式比較片裝置的設(shè)計特點
1)固定筒3 圓筒形狀、大直徑、厚壁結(jié)構(gòu)的設(shè)計和周向?qū)ΨQ的固定方式,可保證其有足夠的強度和剛度,同時,還可阻止高溫濺射磨料對其內(nèi)部零部件污染,保證撥動盤15 轉(zhuǎn)動的靈活性。
2)圓形軸承座2 的設(shè)計,保證軸承座安裝的密封性和垂直度;增大軸1 的直徑尺寸,加大軸承座2 中兩軸承的安裝間距,提高其自身的強度和剛度,保證轉(zhuǎn)動過程中軸1 的剛度和撥動盤15的旋轉(zhuǎn)靈活性、位置重復的一致性。
3)裝載換位機構(gòu),通過擴大支承盤16 的直徑,使該機構(gòu)在平面方向的有效面積增大,可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片,有利于光路調(diào)整,提高光學薄膜質(zhì)量;比較片12 由單片玻璃作為一個比較片單元,比較片采用空間立體疊加安裝方式,多片玻璃疊加安裝在一個比較片存儲筒13 內(nèi),實現(xiàn)一次可放置50~100 片比較片,解決鍍膜機鍍制多層精密光學薄膜,比較片數(shù)量少影響鍍膜層數(shù)和精度的問題。
4)定位盤6 與槽型光藕17 的配合,通過槽型光藕來感知定位盤上三個均分的120°狹縫,控制電機轉(zhuǎn)動停止。軸1 旋轉(zhuǎn)定位重復的一致性得到保證,帶動撥動盤15 完成準確的撥片動作。
5) 轉(zhuǎn)動密封饋入機構(gòu)引入威爾遜密封機構(gòu)5,既保證電機9 通過齒輪嚙合帶動軸1 的靈活轉(zhuǎn)動,又保證真空室對外部的密封作用。優(yōu)化設(shè)計的真空鍍膜機多片式比較片裝置,其特點:(1)結(jié)構(gòu)簡單,強度高,可靠性好;(2)比較片裝載數(shù)量大,生產(chǎn)效率提高,可鍍制超多層精密光學薄膜;(3)比較片直徑增大,提高薄膜監(jiān)控的精度,降低對硬件系統(tǒng)的要求,系統(tǒng)容易實現(xiàn)自動控制;(4)維護保養(yǎng)費用低。
通過對真空鍍膜機多片式比較片裝置的優(yōu)化設(shè)計,保證了比較片機構(gòu)撥片轉(zhuǎn)動的靈活性和重復的一致性,解決了比較片有效面積小,光路調(diào)整不方便,光信號信噪比差的問題,又解決了比較片裝載數(shù)量少的問題,可以使現(xiàn)有的真空鍍膜機鍍制光學薄膜的質(zhì)量大大提高,并且30 層以上的光學薄膜得以鍍制完成。實踐證明此比較片結(jié)構(gòu)是有用的,可以在現(xiàn)代的光學真空鍍膜行業(yè)進行推廣和實施,