真空鍍膜設備 真空鍍膜機冷凝泵的工作原理
真空鍍膜設備 真空鍍膜機主要是低溫表面對氣體的冷凝作用、冷捕作用及物理低溫吸附作用。
低溫冷凝：根據各種氣體的特性，采用液氦或者制冷循環氦氣來冷卻。
冷捕集：就是不可凝氣體被可凝氣體捕集的現象，通常二氧化碳、水蒸氣、氮氣、壓氣等氣體首先形成霜，于低溫表面形成吸附層，進而達到吸附其它氣體的目的，低溫泵抽除混合氣體的效果比抽除單一效果好就是這個原因。
低溫吸附：指低溫表面上的吸附劑吸附氣體的作用，由于吸附劑與氣體分子之間的相互作用很強，故可達到氣相壓強比冷凝表面溫度下它的飽和蒸汽壓還低的水平。吸附劑通常是活性炭。
冷凝泵的抽氣速率及影響 冷凝泵的抽氣速率與冷凝表面的面積大小有關系，經數據顯示，單位冷凝表面積下的抽氣速率為11.6升/秒.平方厘米，冷凝泵可以抽到10-8帕；此外粘有活性炭的吸附表面的幾何形狀及位置、活性炭的顆粒結構、粘結材料及粘接工藝，對抽速也有很大的影響。其次關鍵在于制冷機的制冷量要足夠大。
真空計：真空計是真空鍍膜機器上的重要組成部分，它是檢測鍍膜機真空度的重要手段。真空計根據其工作原理可以分為絕對真空計和相對真空計，絕對真空計可以直接測量壓強的高低，相對真空計只能間接測量真空度。
本文重點介紹鍍膜機器上面常用到的以下幾個真空計：
電阻真空計（又叫皮喇尼真空計）：
它主要由電熱絲、外殼和支架構成，主要是根據在低壓下，氣體的熱傳導系數與壓強成正比的方式工作的。上面開口處與被測真空系統相連接，熱絲采用電阻溫度系數大的金屬絲做成，兩支支架引線與測量線路連接。當壓強降低的時候，由于氣體熱傳導散失的熱量減小，因此當熱絲加熱電流穩定時候，則熱絲溫度就上升，熱絲的電阻就增大，用測量熱絲電阻值的大小來間接測量壓強，有以下關系：
略 這就是電阻真空計的工作原理，此真空計的測量范圍是：100-10-1帕之間，目前采用的型號是WP-02
磁控放電真空計：
工作原理：在放電開始時，由于空間游離電子向陽極運動時，在正交電磁場作用下，電子的軌跡不是直線而是螺旋線前進，又因為陽極是框形，故電子不一定第一次就碰上陽極，而是穿過陽極，然后受到對面陰極的拒斥，又復返回。這樣反復多次才可能打上陽極。由于電子路程大大加長，故碰撞及電離的分子數增加，使得在較低壓強（10-4帕以下）仍維持放電（也稱潘寧放電）。
目前比較多的型號有PKR251、GI-PARY
放電管真空計：在玻璃管中封入兩個金屬電極，在其上加上數千伏的直流高電壓，在一定的壓強范圍內（1*10-3～2*10托）內就能引起自持放電，通過放電顏色來判定其真空度
目前為止此種真空計已經很少使用，因為其誤差大，容易損壞，而且壽命不長。
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