1)所需設備:CCZK-900ION-T系列多弧離子工具鍍膜機
2)獲得膜層:TiN(氮化鈦),AlN(氮化鋁),CrN(氮化鉻),TiC(碳化鈦),TiAlN(氮化鋁鈦)等
3)涂裝流程:工具產品的前處理(超聲波清洗或表面一定程度的拋光)----烘箱烘干----真空離子鍍膜(2H-12H)---- 冷卻---出爐---成品包裝
4)基本配置:
腔體結構:D900mm*H1100mm,立式前開門
腔體材質:304不銹鋼材質
烘烤系統:鎧裝加熱550℃ PID溫控
冷卻系統:不銹鋼水冷套裝
多弧電源:200A 10套
多弧靶材:鈦靶或不銹鋼靶 10套
偏壓電源:20KW 1套
Bias power:20kw 1set
氣體控制:4路氣體流量控制系統
泵抽系統:1臺分子泵+1臺羅茨泵+1臺直聯泵(德國萊寶)
智能控制:PLC+臺灣研華工業計算機+HMI智能人機界面控制+報警系統
安裝服務:免費提供客戶現場的安裝調試服務
保修服務:免費提供12個月的保修服務
培訓服務:免費提供客戶操作人員的基本培訓服務
5)需求配套設施:
空壓機+儲氣罐+水泵+水冷設備+超聲波清洗機
水壓流速:0.2Mpa 3m3/h
氣 壓:0.4-0.8mpa
水 溫:小于25℃