真空鍍膜機成膜不均勻的因素
真空鍍膜機由于要保持工件必須能夠自公轉的特性，工件在不同真空室之間的傳遞技術是制造立體分散件多室連續(xù)鍍膜機的主要難點。目前的傳送機構，主要是在常規(guī)的、廣泛應用于板帶表面鍍膜的、無工件自轉機構基礎上發(fā)展起來的鏈條隧道式傳送機構。
鏈條隧道式連續(xù)傳送機構，是在傳統(tǒng)板帶表面鍍膜機中的傳遞機構基礎上發(fā)展起來的，對于真空鍍膜裝備制造企業(yè)來說，生產(chǎn)沒有任何困難，市場上已有的立體分散件連續(xù)鍍膜機采用的均是此類機型，國內(nèi)有數(shù)家企業(yè)為此還申請專利。為鏈條隧道式傳送機構結構設計圖，其傳遞過程為，公轉盤A帶動柔性金屬材料鋼帶B公轉，自轉軸的軸套D焊接在柔性鋼帶上，以機械機構固定在公轉盤上，同時用有內(nèi)齒的固定圓盤F齒合自轉軸C上的齒輪E，以保證其自轉。柔性金屬材料鋼帶B在G處能夠自由斷開，并做直線運動從內(nèi)齒固定圓盤F的H開口處進入下一個真空鍍膜室的工件架上。
鏈條隧道式傳遞機構的缺陷是，1、真空室之間的連接閥門需要較大尺寸，這樣，不同真空室之間的氣氛容易互串，進而降低鍍膜質量、成品率等；2、需要較高的設計精度、加工水平，由于是柔性結構，容易出現(xiàn)匹配不精確，導致傳送出現(xiàn)故障。真空鍍膜機往復步進齒條推桿式傳送機其傳遞過程為，固定在鍍膜室頂上或底盤上（與公轉盤同一側）、并可以往復運動的齒輪G、齒條H－推桿機構，順序實現(xiàn)自轉工件桿Am從真空室M的公轉盤Jm向真空室N的公轉盤Jn的傳遞。齒輪、齒條所用的動力是通過軸密封在真空室外的電機來實現(xiàn)。為使自轉工件桿脫離公轉盤進入下一個公轉盤，在公轉盤與自轉軸之間采用開放式連接，同時在固定于鍍膜室內(nèi)并維持自轉的內(nèi)齒輪盤相應位置開口，實現(xiàn)自轉工件桿從鍍膜室M傳送到下一個鍍膜室N。
與鏈條式傳送機構相比，該機構為剛性傳送，不存在齒合不精確問題同時，由于需要的過渡空間小，可以節(jié)約真空室之間閥門的開關時間、進一步減少不同真空室之間的氣氛互串。因而極大的提高了鍍膜工藝穩(wěn)定可靠性、成品率，降低能耗和成本等。
真空鍍膜機成膜不均
隨著鍍膜技術的發(fā)展，各類真空鍍膜機也逐漸出現(xiàn)，不管是哪種真空鍍膜機，薄膜的均勻性都會受到一些因素的影響。現(xiàn)在，我們就以磁濺射真空鍍膜機來分析成膜不均勻的因素。
鍍膜機抽氣不均會影響鍍膜均勻性。基片干凈很重要。真空鍍膜前要將基片表面認真清潔干凈，達到工件去油、去污和脫水的目的?；灞砻嫖廴緩牧慵诩庸?，運輸?shù)冗^程中附著的各種各樣的灰塵、油脂、拋光膏、汗?jié)n等，在潮濕環(huán)境下，基片表面易氧化，形成氧化膜吸附氣體。對于這些污物，都能用去油或化學方法清洗干凈。干凈的基片不要直接放在外面，需要用封閉容器存放，減少沾污。鍍膜室內(nèi)也是會積灰的，所以要清洗鍍膜室內(nèi)，烘烤除氣，并將機器放置在干凈的環(huán)境里。注意擴散泵返油。鍍膜的原材料有很多，如樹脂、硅酮、硅鹽酸、聚合物等，輔料、配方的比列有所不同，薄膜也不同。
以上就是真空鍍膜機成膜不均勻的因素。
關鍵詞：真空鍍膜技術，真空鍍膜設備
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