多弧磁控濺射多功能離子鍍膜備可在金屬或非金屬的表面鍍制硬質(zhì)增壽臘、裝飾臘、合金膜或多層臘，可廣泛用于刀刃、模具、鐘表、首飾、燈具、建筑五金及裝飾用彩色鋼板、眼鏡架、電子產(chǎn)品、醫(yī)療器械、儀器儀表等領(lǐng)域。
多弧磁控濺射多功能離子鍍膜設(shè)備在真空條件下采用物理氣相沉積技術(shù)，在基片上鍍制氮化鈦及其它薄膜。它將多弧離子鍍技術(shù)、柱形靶及磁控油射離子鍍技術(shù)有機(jī)結(jié)合在一起，可單獨(dú)使用或同時(shí)使用，制取含有連續(xù)過(guò)渡層的各種膜層。
多弧磁控濺射多功能離子鍍膜設(shè)備制造簡(jiǎn)單，使用方便，運(yùn)行成本低無(wú)污染，經(jīng)濟(jì)效益高。其雙真空室可交替工作，能提高工效一倍，大大節(jié)省投資。該設(shè)備主要性能指標(biāo)如下：鍍膜室極限真空度1.3×10〈’-3〉Pa;抽真空時(shí)間(從大氣抽至6.67×10〈’-3〉Pa)≤20min;壓升率1Pa/h;工作周期1h;弧電流60￣90A;弧電壓18￣21V;磁控油射靶功率10￣36kW。該設(shè)備已在國(guó)內(nèi)外出售幾十臺(tái)套，取得了良好的社會(huì)經(jīng)濟(jì)效益。
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