AZ31鎂合金磁控濺射鍍鋁膜的性能研究
采用超真空磁控濺射鍍膜設備在AZ31鎂合金表面進行了鋁保護膜的鍍覆，利用輝光放電光譜分析和納米壓痕／劃痕試驗技術，研究了鍍層的成分和顯微力學性能隨薄膜深度的分布。結果表明，鋁鍍層在鎂合金基體表面形成，鍍層和基體之間存在混融的過渡層，鋁鍍層的表面硬度、彈性模量等高于鎂合金基體的，并隨深度增加而遞減，膜層與基體結合良好并表現出一定塑性、鍍鋁膜有利于鎂合金表面防護層的形成。
鎂合金在腐蝕性環境中，不能像鋁合金那樣在表面形成保護性鈍化膜，而易作為陽極遭受電偶腐蝕，這在一定程度上限制了其應用。在鎂合金的表面形成一層致密的鋁層或合金層能有效地減緩鎂合金的腐蝕[1-2]，如在鎂合金表面噴涂鋁防護層能夠有效的形成防腐蝕保護層，但這種涂層較厚，表面粗糙度較高。
磁控濺射鍍膜是一種比較重要的物理氣相沉積鍍膜技術，濺射鍍膜是指在真空室中，利用核能粒子轟擊靶材表面，通過粒子動量傳遞打出靶材中的原子及其他粒子，并使其沉積在基體上形成薄膜的技術。利用磁控濺射在鎂合金表面形成保護性膜層，以提高合金的防蝕性、耐磨性等已經取得了一些可喜的進展[5]。本文利用超真空磁控濺射鍍膜設備，在AZ31鎂合金表面進行了磁控濺射鋁保護膜的鍍覆；利用輝光放電光譜分析技術和納米壓痕劃痕試驗技術，研究了表面膜層的成分和顯微力學性能。
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