由于真空鍍膜設備要在真空條件下工作,因此該設備要滿足真空對環境的要求。
我國制定的各種真空鍍膜設備的行業標準(包括真空鍍膜設備通用技術條件、真空離子鍍膜設備、真空濺射鍍膜設備、真空蒸發鍍膜設備)都對環境要求作了明確規定。
只有滿足了真空鍍膜設備對環境的要求,才能使該設備正常運轉,加上正確的鍍膜工藝,方能生產出合格的鍍膜產品。
真空鍍膜設備對環境的要求:
一般包括真空設備對所處實驗室(或車間)的溫度、空氣中的微粒等周圍環境的要求,和對處于真空狀態或真空中的零件或表面要求兩個方面。這兩個方面是有密切聯系的。周圍環境的好壞直接影響真空設備的正常使用;而真空設備的真空室或裝入里面的零件是否清洗,又直接影響設備的性能。
如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵,在真空室沒有經過清洗的情況下用油封機械泵去抽氣,要達到預期的真空度很難的。眾所周,油封式機械泵不宜抽除對金屬有腐蝕性、對真空油其反應的以含有顆粒塵埃的氣體。水蒸氣為可凝性氣體,當大量抽除可凝性氣體時,對泵油的污染會更加嚴重,結果使泵的極限真空下降,破壞了泵的抽氣性能。
工業環境中的粉塵是以粉狀體、眼無題、粉塵來區分的。粉狀體是粉末或固體顆粒的集合或分散狀態的物質。所謂粉末是指微小的固體顆粒的集合,而顆粒是指能夠一個一個計數的微小物質。
煙霧體是以固體或液體的微小顆粒呈浮狀態存在于氣體中的物質體系。物質無論是固體還是液體,凡是呈顆粒狀態均可統稱為塵粒。以塵粒直徑的大小來確定空氣清潔度的標準,從而定制出潔凈室的等級。不僅適合于有潔凈要求的工業部門,也適合于真空對潔凈環境的要求。
關鍵詞:真空鍍膜設備
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